真空泵的類(lèi)型

凡是利用機械運動(dòng)(轉動(dòng)或滑動(dòng))以獲得真空的泵，稱(chēng)為機械真空泵。

機械真空泵按其工作原理及結構特點(diǎn)分述如下：

一、變容真空泵

    它是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種。

1、往復式真空泵 ：利用泵腔內活塞往復運動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱(chēng)為活塞式真空泵。

2、旋轉式真空泵 ： 利用泵腔內轉子部件的旋轉運動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類(lèi)：

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵內各運動(dòng)部件之間的間隙，減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線(xiàn)真空泵等。

2)液環(huán)真空泵 將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時(shí)，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油，所以亦稱(chēng)為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。

3)干式真空泵 它是一種泵內不用油類(lèi)(或液體)密封的變容真空泵。由于干式真空泵泵腔內不需要工作液體，因此，適用于半導體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無(wú)油清潔真空環(huán)境的工藝場(chǎng)合。

4)羅茨真空泵泵內裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。

二、動(dòng)量傳輸泵


它依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。這類(lèi)泵可分為以下幾種形式：

1、分子真空泵 ：它是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：

1)牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。

2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。


3)復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。

按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類(lèi)型。


一、氣體輸送泵包括：

        1、液環(huán)真空泵（水環(huán)式真空泵）2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線(xiàn)真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等

二、氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。