術(shù)語(yǔ)解釋

真空的定義

真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

真空度

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高"和“真空度低"來(lái)表示。真空度高表示真空度“好"的意思，真空度低表示真空度“差"的意思。

真空度單位

通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。

1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

托與帕的轉換

1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托

平均自由程

作無(wú)規則熱運動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ"表示。

流量

單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量，符號用“Q"表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

流導

表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態(tài)下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U"。 U=Q/(P2- P1)

壓力或壓強

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P"表示。

標準大氣壓

壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。

極限真空

真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱(chēng)為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

抽氣速率

在一定的壓強和溫度下，單位時(shí)間內由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱(chēng)為抽氣速率，簡(jiǎn)稱(chēng)抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷擋板）

置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

氣鎮閥

油封機械真空泵的壓縮室上開(kāi)一小孔，并裝上調節閥，當打開(kāi)閥并調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過(guò)此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門(mén)稱(chēng)為氣鎮閥。

真空冷凍干燥

真空冷凍干燥，也稱(chēng)升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。

真空蒸鍍

在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱(chēng)為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

真空干燥

利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法。

真空系統常用名稱(chēng)

①主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿(mǎn)足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

③粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。